USG 63S
基于油靜壓技術(shù)的超精密數(shù)控平面成形磨床――中小尺寸超平面成形加工
中小尺寸模具·零部件的平面·曲面等超精密鏡面成形磨削
行程X軸(左右)
600
行程Y軸(前后)
300
行程Z軸(上下)
300
工作臺面大小
700x400
最大載荷
300
主軸形式
油靜壓
主軸轉(zhuǎn)速
0~1600RPM
驅(qū)動方式X軸(左右)
直線電機(jī)
驅(qū)動方式Y(jié)軸(前后)
直線電機(jī)
驅(qū)動方式Z軸(上下)
直線電機(jī)
數(shù)控指令X軸(左右)
0.1um
數(shù)控指令Y軸(前后)
0.01um
數(shù)控指令Z軸(上下)
0.01um
機(jī)械重量
12000kg
數(shù)控系統(tǒng)可定制
海德漢
三菱
西門子
國產(chǎn)CNC
CNC控制器
亮點(diǎn) Highlight
應(yīng)用舉例 Applications
技術(shù)參數(shù) Specification
預(yù)留選項(xiàng) Specification
亮點(diǎn) Highlight
高剛性機(jī)械本體
—— 經(jīng)FEM有限元精細(xì)優(yōu)化設(shè)計(jì)的高剛性立柱移動機(jī)構(gòu)
—— 亞微米級機(jī)械直線精度，確保超精密母體基礎(chǔ)精度
—— 低脈動的精密直線電機(jī)驅(qū)動，確保無反向間隙
靜壓主軸
—— 世界一流的油靜壓砂輪主軸技術(shù)
—— 全域范圍獨(dú)有的內(nèi)嵌式動平衡設(shè)計(jì)，動態(tài)回轉(zhuǎn)精度維持?jǐn)?shù)十納米
精密熱變形控制
—— 機(jī)床靜態(tài)及動態(tài)構(gòu)件的精密恒溫控制，確保長期高精度切削加工的環(huán)境
—— 機(jī)床主軸?電機(jī)?流體獨(dú)立同溫同調(diào)控制，冷卻效率高，顯著減少熱變形
高精度加工
—— 亞微米級機(jī)械直線精度，確保超精密母體基礎(chǔ)精度
—— 最小磨削進(jìn)給10納米，納米分辨率閉環(huán)反饋
—— 微米量級的幾何加工精度、鏡面加工光潔度
標(biāo)準(zhǔn)金屬測試件的高精度平面磨削結(jié)果舉例
—— 平面度＜1.0um/□200mm,
—— 平行度＜1.0~1.5um
—— 表面質(zhì)量＜Ra0.1um
應(yīng)用舉例 Applications
鏡面磨削
鏡面磨削，Ra1nm~20nm
超平面磨削
超平面磨削，平面度0.1~1.0um
曲面磨削
大曲面半徑曲面磨削
陶瓷磨削
藍(lán)寶石、石英、SiC、陶瓷等超精磨削, Ra0.5~5nm
精密齒輪磨削
追加第4軸，磨削MASTER級精密齒輪
技術(shù)參數(shù) Specification
加工區(qū)域
最大工作尺寸
600x300x300mm
工作臺移動量(左右x前后)
700x320mm
臺面到砂輪中心距離
450mm
最大工件重量
300kg
砂輪主軸
主軸形式
油靜壓
外徑x寬度x內(nèi)徑
Φ305x50xΦ127mm
轉(zhuǎn)速
1600RPM
移動軸
左右（工作臺）
驅(qū)動形式
直線電機(jī)
最大速度
30,000mm/min
最小指令
0.0001 · 0.00001mm
前后（立柱）
驅(qū)動形式
直線電機(jī)
最大速度
5000mm/min
最小指令
0.00001mm
上下（主軸頭）
驅(qū)動形式
直線電機(jī)
最大速度
5000mm/min
最小指令
0.00001mm
加工材料
淬火模具鋼
√
超硬合金
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硬脆晶體?硬脆非晶體
√
大理石、斑類巖
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有色金屬
√
碳鋼、鑄鐵等
√
其它合金
√
預(yù)留選項(xiàng) Specification