USG 53S
基于油靜壓技術的超精密數(shù)控平面成形磨床――小尺寸超平面成形加工
小尺寸模具·零部件的平面·曲面等超精密鏡面成形磨削
行程X軸(左右)
500
行程Y軸(前后)
300
行程Z軸(上下)
300
工作臺面大小
600×400
最大載荷
300
主軸形式
油靜壓 or BRG
主軸轉速
0~3000RPM
驅動方式X軸(左右)
直線電機
驅動方式Y軸(前后)
直線電機
驅動方式Z軸(上下)
直線電機
數(shù)控指令X軸(左右)
0.1um
數(shù)控指令Y軸(前后)
0.01um
數(shù)控指令Z軸(上下)
0.01um
機械重量
6000kg
數(shù)控系統(tǒng)可定制
海德漢
三菱
西門子
國產(chǎn)CNC
CNC控制器
亮點 Highlight
應用舉例 Applications
技術參數(shù) Specification
預留選項 Specification
亮點 Highlight
高剛性機械本體
—— 經(jīng)FEM有限元精細優(yōu)化設計的高剛性立柱移動機構
—— 亞微米級機械直線精度，確保超精密母體基礎精度
—— 低脈動的精密直線電機驅動，確保無反向間隙
靜壓主軸
—— 世界一流的油靜壓砂輪主軸技術
—— 全域范圍獨有的內嵌式動平衡設計，動態(tài)回轉精度維持數(shù)十納米
精密熱變形控制
—— 機床靜態(tài)及動態(tài)構件的精密恒溫控制，確保長期高精度切削加工的環(huán)境
—— 機床主軸?電機?流體獨立同溫同調控制，冷卻效率高，顯著減少熱變形
高精度加工
—— 亞微米級機械直線精度，確保超精密母體基礎精度
—— 最小磨削進給10納米，納米分辨率閉環(huán)反饋
—— 微米量級的幾何加工精度、鏡面加工光潔度
標準金屬測試件的高精度平面磨削結果舉例
—— 平面度＜1.0um/□200mm,
—— 平行度＜1.0~1.5um
—— 表面質量＜Ra0.1um
應用舉例 Applications
鏡面磨削
鏡面磨削，Ra1nm~20nm
超平面磨削
超平面磨削，平面度0.1~1.0um
曲面磨削
大曲面半徑曲面磨削
陶瓷磨削
藍寶石、石英、SiC、陶瓷等超精磨削, Ra0.5~5nm
精密齒輪磨削
追加第4軸，磨削MASTER級精密齒輪
技術參數(shù) Specification
加工區(qū)域
最大工作尺寸
500x300x200mm
工作臺移動量(左右x前后)
520x320mm
臺面到砂輪中心距離
400mm
最大工件重量
200kg
砂輪主軸
主軸形式
油靜壓
(O.P. BRG)
(O.P. BRG)
外徑x寬度x內徑
Φ205x50xΦ50.8mm(油靜壓)
Φ254x50xΦ76.2mm(BRG)
Φ254x50xΦ76.2mm(BRG)
轉速
3000RPM
移動軸
左右（工作臺）
驅動形式
直線電機
最大速度
30,000mm/min
最小指令
0.0001 · 0.00001mm
前后（立柱）
驅動形式
直線電機
最大速度
5000mm/min
最小指令
0.00001mm
上下（主軸頭）
驅動形式
直線電機
最大速度
5000mm/min
最小指令
0.00001mm
加工材料
淬火模具鋼
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超硬合金
√
硬脆晶體?硬脆非晶體
√
大理石、斑類巖
√
有色金屬
√
碳鋼、鑄鐵等
√
其它合金
√
預留選項 Specification